अर्धचालक क्षेत्रमा अप्टिकल डिजाइनको विस्तृत दायरा छ। फोटोलिथोग्राफी मेसिनमा, अप्टिकल प्रणाली प्रकाश स्रोतबाट उत्सर्जित प्रकाश किरणलाई केन्द्रित गर्न र सर्किट ढाँचालाई उजागर गर्न सिलिकन वेफरमा प्रक्षेपण गर्न जिम्मेवार हुन्छ। त्यसकारण, फोटोलिथोग्राफी प्रणालीमा अप्टिकल घटकहरूको डिजाइन र अनुकूलन फोटोलिथोग्राफी मेसिनको कार्यसम्पादन सुधार गर्ने एक महत्त्वपूर्ण तरिका हो। फोटोलिथोग्राफी मेसिनहरूमा प्रयोग हुने केही अप्टिकल घटकहरू निम्नानुसार छन्:
प्रक्षेपण उद्देश्य
०१ प्रक्षेपण उद्देश्य लिथोग्राफी मेसिनमा एक प्रमुख अप्टिकल घटक हो, जसमा सामान्यतया उत्तल लेन्स, अवतल लेन्स र प्रिज्महरू सहित लेन्सहरूको श्रृंखला हुन्छ।
०२ यसको कार्य मास्कमा रहेको सर्किट ढाँचालाई संकुचित गर्नु र फोटोरेसिस्टले लेपित वेफरमा केन्द्रित गर्नु हो।
०३ प्रक्षेपण उद्देश्यको शुद्धता र कार्यसम्पादनले लिथोग्राफी मेसिनको रिजोल्युसन र इमेजिङ गुणस्तरमा निर्णायक प्रभाव पार्छ।
ऐना
01 ऐनाहरूप्रकाशको दिशा परिवर्तन गर्न र यसलाई सही स्थानमा निर्देशित गर्न प्रयोग गरिन्छ।
०२ EUV लिथोग्राफी मेसिनहरूमा, ऐनाहरू विशेष गरी महत्त्वपूर्ण हुन्छन् किनभने EUV प्रकाश सामग्रीहरूद्वारा सजिलै अवशोषित हुन्छ, त्यसैले उच्च परावर्तनशीलता भएका ऐनाहरू प्रयोग गर्नुपर्छ।
०३ रिफ्लेक्टरको सतह शुद्धता र स्थिरताले पनि लिथोग्राफी मेसिनको कार्यसम्पादनमा ठूलो प्रभाव पार्छ।
फिल्टरहरू
०१ फिल्टरहरू प्रकाशको अनावश्यक तरंगदैर्ध्य हटाउन प्रयोग गरिन्छ, जसले फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाको शुद्धता र गुणस्तर सुधार गर्दछ।
०२ उपयुक्त फिल्टर छनोट गरेर, यो सुनिश्चित गर्न सकिन्छ कि लिथोग्राफी मेसिनमा एक विशिष्ट तरंगदैर्ध्यको प्रकाश मात्र प्रवेश गर्छ, जसले गर्दा लिथोग्राफी प्रक्रियाको शुद्धता र स्थिरतामा सुधार हुन्छ।
प्रिज्म र अन्य घटकहरू
यसको अतिरिक्त, लिथोग्राफी मेसिनले विशिष्ट लिथोग्राफी आवश्यकताहरू पूरा गर्न प्रिज्म, पोलराइजर, आदि जस्ता अन्य सहायक अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू पनि प्रयोग गर्न सक्छ। लिथोग्राफी मेसिनको उच्च परिशुद्धता र दक्षता सुनिश्चित गर्न यी अप्टिकल कम्पोनेन्टहरूको चयन, डिजाइन र निर्माणले सान्दर्भिक प्राविधिक मापदण्ड र आवश्यकताहरूलाई कडाईका साथ पालना गर्नुपर्छ।
संक्षेपमा, लिथोग्राफी मेसिनको क्षेत्रमा अप्टिकल कम्पोनेन्टहरूको प्रयोगले लिथोग्राफी मेसिनहरूको कार्यसम्पादन र उत्पादन दक्षता सुधार गर्ने लक्ष्य राख्छ, जसले गर्दा माइक्रोइलेक्ट्रोनिक्स निर्माण उद्योगको विकासलाई समर्थन गर्दछ। लिथोग्राफी प्रविधिको निरन्तर विकाससँगै, अप्टिकल कम्पोनेन्टहरूको अप्टिमाइजेसन र नवीनताले अर्को पुस्ताको चिपहरूको निर्माणको लागि पनि ठूलो सम्भावना प्रदान गर्नेछ।
थप जानकारी र विशेषज्ञ सल्लाहको लागि, हाम्रो वेबसाइटमा जानुहोस्https://www.jiujonoptics.com/हाम्रा उत्पादनहरू र समाधानहरूको बारेमा थप जान्नको लागि।
पोस्ट समय: जनवरी-०२-२०२५
